报告摘要：

MEMS惯性开关作为一种“近零功耗”的传感器件，在物联网（IoT）节点振动监测中有着广泛的应用，当受到超过其阈值水平的振动冲击时，该器件能够实现瞬间机械闭合，输出接通脉冲信号，从而使外电路瞬间导通，以此完成对后续系统的控制。本报告将详细介绍一种基于非硅表面微加工技术的金属基MEMS惯性开关器件，包括其具体的研发历程和实际应用情况。此外，报告还将介绍一种可实现超细圆管/圆柱/毛细管等表面3D微加工的集成制造新技术，该技术基于紫外投影光刻，并利用研制的多自由度旋转曝光设备，可实现在百微米以下的超细柔性或刚性圆柱基表面上MEMS器件的三维集成制造，该方法将为各类超细介入/植入式柔性生物医用MEMS器件的集成制造开辟一种全新的技术途径。

报告人简介：

杨卓青，教授、博士生导师，上海交通大学“微米/纳米加工技术国家级重点实验室”研究员。于2003年和2005年在哈尔滨工程大学机电工程学院获得学士与硕士学位，2010年获得上海交通大学微电子学与固体电子学博士学位，2011-2013年期间，在日本国立产业技术综合研究所（AIST）任JSPS博士后特别研究员。目前任职于上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系，长期致力于MEMS惯性开关、柔性纤维/圆管/毛细管等表面的三维MEMS集成制造、PowerMEMS等相关研究，拥有20多项中国发明专利和1项日本专利，在IEEE JMEMS、IEEE TED、Adv Energy Mater、Nano Energy、Lab Chip等国际期刊上发表论文100多篇，并受邀担任多个国际学术会议的TPC成员和分会主席，目前为Micro and Nanosystems、Nanomanufacturing、《功能材料与器件学报》等多个学术期刊编委。此外，曾获得2016年“上海市技术发明一等奖”和2019年“工信部国防科技进步三等奖”，并于2014年入选“上海市浦江人才计划”，目前为中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国微米纳米技术学会高级会员、中科院深圳先进技术研究院客座研究员，以及IEEE高级会员。

报告时间：2021年5月7日15:00

报告地点：科研楼402